DVM319 精密调节滴漏阀
KOSCN Control Valves DV319 精密调节滴漏阀是一款双通道流量调节的药液控制阀,配置高精密线性调节阀、锥膜调节阀和气动通断阀,可以实现微小流量和大流量的在线切换,满足精密制程的工艺需求。同时产品具备低Particulate的重要特征,被广泛用于半导体重要的湿制程设备。
方便操作和维护
* 全塑的外观结构,美观且耐腐蚀
* 小型化设计、安装方便、无需保养
* 执行机构无需维护和保养
* 底部设置有安装固定螺母,可以直接锁付
高安全性能
* 符合 FDA 177-1520 / 177-1550 溶出试验要求
* 具备精密的流量线性调节性能
* 气动执行结构采用标准通用模块,具有高稳定性
* 具备低Particulate特征
高灵活性
* 接液材质 PTFE、PFA
* 隔膜材质 PTFE
* 结构件材质 PVDF、PP-Natural
* 驱动先导口可选三个安装方向
* 可实现不同的流量选型配置
应用
* 半导体
* 液晶面板
* 集成电路
* 生物制药
* 新材料
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